Tail gas treatment equipment can handle gases used in etching processes and chemical vapor deposition processes in the semiconductor, liquid crystal, and solar energy industries, including SiH4, SiH2Cl2, PH3, B2H6, TEOS, H2, CO, NF3, SF6, C2F6, WF6, NH3, N2O, and so on.
Uitlaatgasbehandelingsmethode
Volgens de kenmerken van uitlaatgasbehandeling kan de behandeling worden onderverdeeld in vier soorten behandeling:
1. Type water wassen (behandeling van corrosieve gassen)
2. Oxidatietype (omgaan met brandbare en giftige gassen)
3. Adsorptie (volgens het type adsorptiemateriaal om het overeenkomstige uitlaatgas aan te pakken).
4.plasma -verbrandingstype (alle soorten uitlaatgassen kunnen worden behandeld).
Elk type behandeling heeft zijn eigen voor- en nadelen, evenals zijn toepassingsgebied. Wanneer de behandelingsmethode water wassen, is de apparatuur goedkoop en eenvoudig en kan hij alleen in water oplosbare gassen aan; Het applicatiebereik van het type elektrische waterwassen is hoger dan dat van het type water wassen, maar de operatiekosten zijn hoog; Het droge type heeft een goede behandelingsefficiëntie en is niet van toepassing op de gasstroom die gemakkelijk is verstopt of stroomt.
Chemicaliën en hun bijproducten die vaak worden gebruikt in de halfgeleiderindustrie kunnen worden gecategoriseerd volgens hun chemische eigenschappen en hun verschillende reeksen:
1. Ontvlambare gassen zoals SIH4H2, etc.
2. Giftige gassen zoals ASH3, PH3, etc.
3. Corrosieve gassen zoals HF, HCl, etc.
4. Greenhouse Gassen zoals CF4, NF3, enz.
Since the above four gases are harmful to the environment or human body, must prevent its direct emission into the atmosphere, so the general semiconductor plant are installed with a large centralized exhaust gas treatment system, but this system is only water scrubbing exhaust, so its application is limited to the long-distance water-soluble gases, and can not deal with the ever-changing and subtle division of the semiconductor process exhaust gas. Daarom is het noodzakelijk om de overeenkomstige uitlaatgasbehandelingsapparatuur te selecteren en matchen volgens de gaskarakteristieken die van elk proces zijn afgeleid om het uitlaatgasprobleem op een kleine manier op te lossen. Aangezien het werkgebied meestal uit de buurt van het centrale uitlaatgasbehandelingssysteem is, leiden vaak als gevolg van gaskarakteristieken tot kristallisatie of stofophoping in de pijpleiding, wat resulteert in verstopping van de pijpleiding die leidt tot gaslekkage, en in ernstige gevallen kan zelfs een explosie veroorzaken, niet ervoor zorgen dat de werkveiligheid van het site personeel. Daarom moet in het werkgebied een kleine uitlaatgasbehandelingsapparatuur configureren die geschikt is voor de kenmerken van het procesgas, om het stagnerende uitlaatgas in het werkgebied te verminderen, om de veiligheid van personeel te waarborgen.
Posttijd: aug-10-2023