Het gebruik van gassen in de halfgeleiderindustrie dateert uit de vroege jaren 1950 tot de jaren 1960. Tijdens het productieproces van het halfgeleider worden gassen voornamelijk gebruikt om halfgeleidermaterialen schoon te maken en te beschermen om hun zuiverheid en kwaliteit te waarborgen. Een van de meest gebruikte gassen zijn stikstof en waterstof.
Naarmate halfgeleidertechnologie ontwikkelde en de productieprocessen bleven verbeteren, nam de vraag naar gassen toe. In 1970 werd de verdere ontwikkeling van de productietechnologie van halfgeleiders, de toepassing van gassen in belangrijke processen zoals etsen en afzetting van dunne films geleidelijk toegenomen, en fluoridegassen (bijv. SF6) en zuurstof werden vaak gebruikt etsen en depositiegassen. 1980 zag een verdere toename van de vraag naar gassen met de ontwikkeling van geïntegreerde circuits en de toename van de vraag naar hen. Waterstof werd op grote schaal gebruikt in het productieproces, waaronder waterstofgloei en afzetting van waterstofdamp. En van 1990 tot heden is de vraag naar hoogzuivere gassen en specifieke gassen toegenomen naarmate de semiconductor-apparaatgroottes zijn blijven krimpen en er nieuwe processen zijn geïntroduceerd. De toepassing van extreme ultraviolette lithografie (EUV) vereist bijvoorbeeld het gebruik van extreem hoge gassen zoals stikstof en waterstof.
Het halfgeleidergas blijft toenemen met de ontwikkeling van gerelateerde producten die worden aangedreven door meer en meer producten worden onthuld, terwijl het gas ook tot de bron van gevaar behoort, dus de producten die worden gebruikt voor gasdecompressie, gasdetectieproducten en voorkomen dat gaslekkageproducten zijn ontstaan, zoals drukregulatoren, gaskleppen, gaskleppen, gasdrukken, gasdrukken, gasdetector, enz. Enz. En hun rollen zijn als volgt:
Drukregelaars: drukregelaars zijn apparaten die worden gebruikt om de gasdruk te regelen. Ze bestaan meestal uit een regelaarklep en een druksensor. Drukregelaars nemen een hogedrukgasinvoer en stabiliseer de druk van het uitgangsgas door de klep aan te passen om aan specifieke toepassingsvereisten te voldoen. Drukregelgevers worden veel gebruikt in gebieden zoals industrie, productie en laboratoria, evenals in de halfgeleiderindustrie, onder andere om de stabiliteit en veiligheid van de gasvoorziening te waarborgen.
Gasventiel: gaskleppen worden gebruikt om de stroom van gassen te regelen en om gasdoorgangen te sluiten. Ze hebben meestal een aan/uit -functie die de gasstroom opent of sluit. Er zijn verschillende soorten gaskleppen, waaronder handmatige kleppen, elektrische kleppen en pneumatische kleppen. Ze worden op grote schaal gebruikt in gassystemen om de stroom, druk en stroomsnelheid van gassen te regelen.
Gasdrukmeters: gasdrukmeters worden gebruikt om het drukniveau van een gas te meten. Ze worden meestal geïnstalleerd op kritieke locaties in gassystemen om drukveranderingen te controleren en ervoor te zorgen dat ze binnen veilige limieten liggen. Gasdrukmeters worden veel gebruikt in de industrie, productie en laboratoria, en de halfgeleiderindustrie is ook betrokken geweest.
Gaslekdetectoren: gaslekdetectoren worden gebruikt om lekken in gassystemen te detecteren. Ze detecterenDe aanwezigheid van gas lekt en klinkt een alarm zodat tijdige actie kan worden genomen om lekkage -ongelukken te voorkomen. Gaslekdetectoren worden veel gebruikt in industriële, chemische, olie- en gastoepassingen, en de halfgeleiderindustrie is ook betrokken geweest.
Posttijd: februari-20-2024