Ultrahoge zuiverheidsgassen zijn essentieel in de supply chain van het halfgeleider. Voor een typische fantastische, hoge zuivere gassen zijn de grootste materiaalkosten na het silicium zelf in feite. In de nasleep van het wereldwijde chiptekort breidt de industrie sneller dan ooit uit - en de vraag naar hoge zuiverheidsgassen neemt toe.
De meest gebruikte bulkgassen in de productie van halfgeleiders zijn stikstof, helium, waterstof en argon.
Nitrogen
Stikstof maakt 78% van onze atmosfeer uit en is extreem overvloedig. Het is ook chemisch inert en niet-geleidend. Als gevolg hiervan heeft stikstof zijn weg gevonden naar een aantal industrieën als een kosteneffectief inert gas.
De halfgeleiderindustrie is een belangrijke consument van stikstof. Van een moderne fabriek voor halfgeleiders wordt verwacht dat het tot 50.000 kubieke meter stikstof per uur gebruikt. Bij de productie van halfgeleiders werkt stikstof als een algemeen doel en zuiverend gas, waardoor gevoelige siliciumwafels worden beschermd tegen reactieve zuurstof en vocht in de lucht.
Helium
Helium is een inert gas. Dit betekent dat, net als stikstof, helium chemisch inert is - maar het heeft ook het extra voordeel van een hoge thermische geleidbaarheid. Dit is met name nuttig bij de productie van halfgeleiders, waardoor het efficiënt warmte kan worden weggegooid van energierijke processen en helpt hen te beschermen tegen thermische schade en ongewenste chemische reacties.
Waterstof
Waterstof wordt uitgebreid gebruikt tijdens het productieproces van elektronica en de productie van halfgeleiders is geen uitzondering. In het bijzonder wordt waterstof gebruikt voor:
Gloei: siliciumwafels worden meestal verwarmd tot hoge temperaturen en langzaam afgekoeld om de kristalstructuur te herstellen (gegloeid). Waterstof wordt gebruikt om warmte gelijkmatig over te dragen naar de wafel en om te helpen bij het opnieuw opbouwen van de kristalstructuur.
Epitaxie: Ultra-high purity waterstof wordt gebruikt als een reductiemiddel in de epitaxiale afzetting van halfgeleidermaterialen zoals silicium en germanium.
Afzetting: waterstof kan worden gedoteerd in siliciumfilms om hun atoomstructuur meer ongeordend te maken, waardoor de weerstand wordt vergroot.
Plasma -reiniging: waterstofplasma is bijzonder effectief bij het verwijderen van tinbesmetting uit lichtbronnen die worden gebruikt in UV -lithografie.
Argon
Argon is een ander edelgas, dus het vertoont dezelfde lage reactiviteit als stikstof en helium. Argon's lage ionisatie -energie maakt het echter nuttig in halfgeleidertoepassingen. Vanwege het relatieve ionisatiegemak wordt argon vaak gebruikt als het primaire plasmagas voor etsen- en afzettingsreacties in de productie van halfgeleiders. Daarnaast wordt Argon ook gebruikt in excimeer lasers voor UV -lithografie.
Waarom zuiverheid ertoe doet
Doorgaans is de vooruitgang in halfgeleidertechnologie bereikt door schaling van de grootte en wordt de nieuwe generatie halfgeleidertechnologie gekenmerkt door kleinere functiegroottes. Dit levert meerdere voordelen op: meer transistoren in een bepaald volume, verbeterde stromen, lager stroomverbruik en sneller schakelen.
Naarmate de kritieke grootte afneemt, worden halfgeleiderapparaten echter steeds geavanceerder. In een wereld waar de positie van individuele atomen ertoe doet, zijn fouttolerantiedrempels erg strak. Als gevolg hiervan vereisen moderne halfgeleiderprocessen procesgassen met de hoogst mogelijke zuiverheid.
WOFLY is a high-tech enterprise specializing in gas application system engineering: electronic special gas system, laboratory gas circuit system, industrial centralized gas supply system, bulk gas (liquid) system, high purity gas and special process gas secondary piping system, chemical delivery system, pure water system to provide a full set of engineering and technical services and ancillary products from the technical consulting, overall planning, system design, selecting the equipment, prefabricated components, the installation and construction of the project Site, de algehele systeemtests, onderhoud en andere ondersteunende producten op een geïntegreerde manier.
Posttijd: jul-11-2023