Naarmate de halfgeleidermarkt groeit, worden de normen voor zuiverheid en nauwkeurigheid strenger. Een van de bepalende factoren in de kwaliteit van de productie van halfgeleiders zijn de gassen die in het proces worden gebruikt. Deze gassen spelen vele rollen in het productieproces, waaronder:
Precisieprocescontrole
Preventie van verontreiniging
Metallurgische eigendomsverbetering
Om deze rollen effectief uit te voeren, moet het gastoevoer- en distributiesysteem efficiënt zijn. Het ontwerp van gasbehandelingssystemen die worden gebruikt in de productie van halfgeleiders moet worden ondersteund door robuuste componenten en aangepaste assemblages om een betrouwbare en hoge kwaliteit productie van halfgeleiders te garanderen.
Gassen die worden gebruikt in de productie van halfgeleiders
Het productieproces van halfgeleiders vereist het gebruik van verschillende gassen in verschillende stadia van het proces.
Hoewel veel voorkomende gassen zoals stikstof, waterstof, argon en helium in hun pure vorm kunnen worden gebruikt, kunnen bepaalde processen gespecialiseerde mengsels vereisen. Silanen of siloxanen, hexafluoriden, halogeniden en koolwaterstoffen zijn enkele van de speciale gassen die worden gebruikt bij de productie van halfgeleiders. Veel van deze gassen kunnen gevaarlijk of zeer reactief zijn, waardoor uitdagingen ontstaan bij de selectie en het ontwerp van componenten voor gassystemen.
Hier zijn enkele voorbeelden:
\ Waterstof en helium kunnen gemakkelijk lekken uit leidingen en fitting -systemen vanwege hun kleine atoomgrootte en gewicht.
\ Silanen zijn zeer ontvlambaar en kunnen spontaan in de lucht verbranden (Autoignite).
\ Stikstofdifluoride gebruikt in de afzetting, etsen en kamerreinigingsstadia worden een krachtig broeikasgas wanneer het in het milieu wordt gelekt.
\ Waterstoffluoride (etsengas) is zeer corrosief voor metalen leidingen.
\ Trimethylgallium en ammoniak kunnen moeilijk te hanteren zijn - kleine schommelingen in hun temperatuur- en drukvereisten kunnen het afzettingsproces beïnvloeden.
Het regelen van procesomstandigheden om de negatieve effecten van deze gassen te minimaliseren, moet een topprioriteit zijn tijdens systeemontwerp. Het is net zo belangrijk om componenten van de hoogste kwaliteit te gebruiken, zoals AFK -diafragmekleppen tijdens het bouwproces.
Systeemontwerpuitdagingen aanpakken
Gassen van halfgeleiders zijn in de meeste gevallen van hoge zuiverheid en bieden inerte omstandigheden of verbeteren reacties in verschillende stadia van het productieproces, zoals etsen en depositiegassen. Lekkage of besmetting van dergelijke gassen kan negatieve effecten hebben. Daarom is het van cruciaal belang voor de systeemcomponenten die vroeger hermetisch werden afgesloten en corrosiebestendig en een gladde oppervlakteafwerking (elektrolytisch polijsten) hebben om ervoor te zorgen dat er geen mogelijkheid is tot verontreiniging en dat een extreem hoge niveau van netheid kan worden gehandhaafd.
Bovendien kunnen sommige van deze gassen worden verwarmd of gekoeld om de gewenste procesomstandigheden te bereiken. Goed geïsoleerde componenten zorgen voor temperatuurregeling, wat van cruciaal belang is voor een efficiënte prestaties van het eindproduct.
Van de broninlaat tot het gebruikspunt, het brede scala aan componenten van AFK ondersteunt de ultrahoge zuiverheid, temperatuur, druk en stroomregeling die vereist is in halfgeleidercleanrooms en vacuümkamers.
Ontworpen systemen met kwaliteitscomponenten in halfgeleider Fabs
De rol van kwaliteitscomponenten en ontwerpoptimalisatie is van cruciaal belang voor de precieze controle en veilige productie van halfgeleiders. De gebruikte componenten moeten robuust en lekvrij zijn om overeen te komen met de verschillende procesomstandigheden die nodig zijn in verschillende fasen van de productie. AFK's hoogwaardige kleppen, fittingen, regulatoren, leidingen en afdichtingsbeugels worden gekenmerkt door de volgende functies:
Ultrahoge zuiverheid
Lekvrije afdichtingen
Temperatuurgestuurde isolatie
Drukbeheersing
Corrosieweerstand
Elektrolytische polijstbehandeling
Posttijd: oktober 09-2023