Het productieproces van elektronische speciale gassen omvat verschillende processen zoals synthese, zuivering, vulling, analyse en testen, mengen en proportioning. Om te voldoen aan de stroomafwaartse halfgeleiderproductievereisten voor zuiverheids- en onzuiverheidsinhoud, is het zuiveringsproces erg belangrijk. Afhankelijk van de samenstelling van het stroomopwaartse synthese-gas of ruwe gas, wordt lage temperatuur destillatie of multi-fase zuivering uitgevoerd.
Hoge reinheidseisen
Het bereidingsproces van elektronische speciale gassen kan worden onderverdeeld in twee belangrijke blokken van stroomopwaartse synthese -preparaat en zuivering, die tot het chemische productieproces behoort. De grootte van de productiepijpleiding is groot en er is geen speciale vereiste voor netheidsniveau. Na stroomafwaartse zuivering wordt het product gevuld met gas en gemengd voor de voorbereiding. De productiepijpleiding is klein en heeft de vereisten voor netheidsniveau. Het moet voldoen aan de standaardspecificatie van het productieproces van halfgeleiders.
Hoge afdichtingsvereisten
Vanwege hun chemische activiteit stellen elektronische speciale gassen ook hoge eisen aan de materialen en het afdichten van het productieprocessysteem. Net als de vereisten van de productie van halfgeleiders, voorkomt het interface -lekkage veroorzaakt door de introductie van onzuiverheden of corrosie van speciale gassen. Het systeem kan ook worden gebruikt om de introductie van onzuiverheden of de lekkage van interface veroorzaakt door de corrosie van speciale gassen te voorkomen.
Stabiliteitsvereisten van hoge kwaliteit
De kwaliteit van elektronische speciale gassen omvat een aantal indicatoren zoals zuiverheid en deeltjesgehalte van onzuiverheid. Elke verandering in de indicatoren heeft invloed op de resultaten van het stroomafwaartse halfgeleiderproces. Om de consistentie van de elektronische speciale gasproductindicatoren te waarborgen, is het voorbereidingsprocessysteem om de stabiliteit van de indicatoren te regelen ook erg belangrijk.
Vanwege de chemische activiteit en kwaliteitsvereisten van EGP, moet het productiesysteem voor EGP -voorbereiding, met name het stroomafwaartse zuiveringssysteem, voldoen aan de eisen van materialen met een hoge zuiverheid, hoge afdichting, hoge reinheid en hoogwaardige consistentie, en de constructie van ontwikkelde componenten moet voldoen aan de normen van de semiconductor -industrie.
Wat we gewoonlijk "hoge zuiverheid" hebben, is theoretisch de definitie van de zuiverheid van een stof, zoals hoge zuiverheidsgassen, chemicaliën met hoge zuiverheid, enz. Processystemen of processysteemcomponenten die worden toegepast op hoogzuivere stoffen worden ook verwezen als hoge zuiverheid, zoals hoog zuiverheidssystemen en hoge puurkleppen. Elektronische specialistische gasbereidingssystemen vereisen hoge zuiverheidstoepassingsfittingen, kleppen en andere vloeistofcomponenten, dwz fittingen en kleppen die worden verwerkt met materialen met hoge zuiverheid en schone productieprocessen en zijn gestructureerd voor eenvoudig zuivering en reiniging. Met hoge afdichtingsprestaties. Deze vloeistofcomponenten zijn ontworpen om te voldoen aan het processtroompad van de toepassing, met behulp van de engineering- en bouwvereisten van de halfgeleiderindustrie.
Hoge zuiverheidspiping -verbindingen
VCR -metalen pakking gezichtafdichtingsverbindingen en automatische geleidige lasverbindingen worden veel gebruikt in veeleisende vloeistofsysteemzuiverheidsprocesvereisten vanwege het vermogen om te voldoen aan zowel een soepele overgang van het stroompad bij de verbinding, geen stagnatiezone en hoge afdichtingsprestaties. VCR -verbindingen vormen een smalle oppervlaktegezeil door een relatief zachte metalen pakket te extra's. Herhaalbare en consistente verbinding en afdichtingsprestaties worden verzekerd telkens wanneer de vervormde pakking wordt verwijderd en vervangen.
Buizen worden gelast met behulp van een automatisch orbitaal lassysteem. De buis wordt beschermd door hoog zuiverheidsgas van binnen en van buiten. De wolfraam -elektrode roteert langs de baan voor lassen van hoge kwaliteit. Volledig geautomatiseerd orbitaal lassen smelt de pijp zonder andere materialen te introduceren, het bereiken van een hoogwaardige las door herhaaldelijk te regelen met dunwandige pijp is moeilijk te bereiken met handmatig lassen.
VCR metalen pakking gezichtafdichtingaansluiting
Automatische orbitale lasverbinding van pijpen
Hoge zuiverheidskleppen
De chemische activiteit van ontvlambare, explosieve, corrosieve en giftige elektronische speciale gassen stelt hoge eisen aan de afdichting van de klep. Om de afdichtingsbetrouwbaarheid te verbeteren, is de vereiste van verpakkingsloze kleppen om externe lekkage te voorkomen, dat wil zeggen, de werking van de klepstam en de kleplichaam tussen de afdichting met metalen balg of metalen diafragma, om lekkage te elimineren als gevolg van slijtage en vervalafvalling. Door de balg-afgedekte en diafragma-verzegelde kleppen worden vaak gebruikt in processystemen voor hoogzuivere toepassingen vanwege de grotere betrouwbaarheid van de afdichtingen en de gemakkelijkere reiniging en het zuiveren van de klepinternex-onderdelen.
Door de balg-verzegelde kleppen zijn een verpakkingsloze naaldklepconstructie die een langzame opening en stroomregeling mogelijk maakt. Gebruikt voor elektronische specialistische gasvulling met veiligheidsstroomvereisten of op voorlopersbronflessen met hoge veiligheidseisen. De volledig metalen stengelpuntafdichtingen zorgen voor extreem lage bedrijfstemperaturen en worden gebruikt voor cryogene liquefactie van elektronische speciale gassen in eindproducttanks na cryogene destillatie voor leidingen.
Springless diafragmafklep is een 1/4 ″ snap-open klep voor gebruik als een automatisch gereguleerde schakelklep in afleveringspieren. Ze worden vaak gebruikt in ultrahoge druktoepassingen vanwege hun eenvoudige interne stroompad, kleine interne volume en gemak van zuivering en vervanging.
Diafragma-verzegelde kleppen die sluiten via de stengelpunt kunnen langzaam openen en worden gebruikt bij hogere bedrijfsdrukken dan niet-gesprongen kleppen met diafragma. Ze worden veel gebruikt bij hogedruk elektronische specialiteitgasvulling of voorlopersbronflessen.
De Secundaire SEAL -balgbellem kan niet alleen worden gebruikt in ultra -lage temperatuurprocessystemen bij -200 graden, maar voorkomt ook lekkage van gevaarlijke media in de atmosfeer. Meestal gebruikt voor zeer gevaarlijke elektronische speciale gassen, zoals silaanvulsysteem.
Shenzhen Wofei Technology Co., Ltd, met meer dan 10 jaar ervaring in de levering van industriële en speciale gassen, materialen, gasvoorzieningssystemen en gastechniek voor de halfgeleider, LED, DRAM, TFT-LCD-markten, wij kunnen u voorzien van de benodigde materialen om uw producten naar de voorgrond van de industrie te duwen. We kunnen niet alleen een breed scala aan kleppen en fittingen leveren voor semi-conductor elektronische speciale gassen, maar we kunnen ook gasleidingen en apparatuurinstallatie voor onze klanten ontwerpen. Als u op dit gebied behoeften heeft, neem dan contact met ons op op 27919860.
Posttijd: Jul-19-2023