Technologieoplossingen voor hoogzuivere gasafgiftesystemen voor halfgeleiderprocessen

Hoge zuivere gasleidingentechnologie is een belangrijk onderdeel van het hoogzuivere gasvoorraadsysteem, de belangrijkste technologie om het vereiste hoogzuivere gas te leveren tot het gebruikspunt en nog steeds de gekwalificeerde kwaliteit te behouden; Hoge zuivere gasleidingentechnologie omvat het juiste ontwerp van het systeem, de selectie van fittingen en accessoires, constructie en installatie en testen. In de afgelopen jaren hebben de steeds strikere vereisten voor het zuiverheids- en onzuiverheidsgehalte van hoge zuiverheidsgassen bij de productie van micro-elektronica-producten die worden vertegenwoordigd door grootschalige geïntegreerde circuits de leidingtechnologie van hoge zuivere gassen steeds meer betrokken en benadrukt gemaakt. Het volgende is een kort overzicht van hoge zuivere gasleidingen van materiaalselectieof constructie, evenals acceptatie en dagelijks beheer.

Soorten gemeenschappelijke gassen

Classificatie van gemeenschappelijke gassen in de elektronica -industrie:

Veel voorkomende gassen（Bulkgas）: waterstof (h₂₎, stikstof (n₂), zuurstof (O₂), argon (a₂), etc.

Speciale gassenzijn sih₄ ,PH₃ ,B₂H_{6 ,}A₈H₃ ,CL ,HCl,CF₄ ,NH_3,Pocl_3, SIH2CL₂ Sihcl3,NH_3,  Bcl_{3 ,}Sif₄ ,CLF₃ ,CO,C₂F_6, N2O,F_2,HF,HBR SF₆…… etc.

De soorten speciale gassen kunnen in het algemeen als corrosief worden geclassificeerdgas, giftiggas, brandbaargas, brandbaargas, inertgas, enz. De algemeen gebruikte halfgeleidersgassen worden over het algemeen als volgt geclassificeerd.

(i) Corrosief / giftiggas: HCL, BF₃, WF₆, HBR, SIH₂Cl₂, NH₃, Ph₃, Cl₂, Bcl₃…enz.

(ii) Vijnbaarheidgas: H₂, Ch₄, Sih₄, Ph₃, Ash3, sih₂Cl₂, B₂H₆, CH2F_2,Ch₃F, CO ... enz.

(iii) brandbaarheidgas: O₂, Cl₂, N₂O, NF₃… Etc.

(iv) inertgas: N₂, Cf₄, C₂F₆, C₄F_8,SF₆, Co₂, Ne, Kr, hij ... enz.

Veel halfgeleidersgassen zijn schadelijk voor het menselijk lichaam. In het bijzonder, sommige van deze gassen, zoals SIH₄ Spontane verbranding, zolang een lek gewelddadig zal reageren met de zuurstof in de lucht en begint te branden; en as₃Zeer giftig, elke lichte lekkage kan het risico van het menselijk leven veroorzaken, het is vanwege deze duidelijke gevaren, dus de vereisten voor de veiligheid van het systeemontwerp zijn bijzonder hoog.

Toepassingsbereik van gassen  

Als een belangrijke basisgrondstoffen van de moderne industrie worden gasproducten veel gebruikt en worden een groot aantal gemeenschappelijke gassen of speciale gassen gebruikt in metallurgie, staal, aardolie, chemische industrie, machines, elektronica, glas, keramiek, bouwmaterialen, constructie, voedselverwerking, medicijn- en medische sectoren. De toepassing van gas heeft een belangrijke impact op de hoge technologie van deze velden met name, en is het onmisbare grondstofgas of procesgas. Alleen met de behoeften en promotie van verschillende nieuwe industriële sectoren en moderne wetenschap en technologie, kunnen de producten van de gasindustrie worden ontwikkeld door sprongen en grenzen in termen van variëteit, kwaliteit en kwantiteit.

Gastoepassing in micro -elektronica en halfgeleiderindustrie

Het gebruik van gas heeft altijd een belangrijke rol gespeeld in het halfgeleiderproces, met name het halfgeleiderproces is op grote schaal gebruikt in verschillende industrieën, van de traditionele ULSI, TFT-LCD tot de huidige micro-electromechanische (MEMS) industrie, die allemaal het zogenaamde halfgeleiderproces gebruiken als het productieproces van producten. De zuiverheid van het gas heeft een beslissende impact op de prestaties van componenten en productopbrengsten, en de veiligheid van de gasvoorziening is gerelateerd aan de gezondheid van personeel en de veiligheid van fabrieksactiviteiten.

De betekenis van hoge zuiverheidspijpen in hoog zuiver gastransport

In het proces van roestvrijstalen smelten en materiaal maken kan ongeveer 200 g gas per ton worden geabsorbeerd. Na de verwerking van roestvrij staal absorbeerde niet alleen het oppervlak met verschillende verontreinigingen, maar ook in het metalen rooster ook een bepaalde hoeveelheid gas. Wanneer er luchtstroom door de pijpleiding is, absorbeert het metaal dit deel van het gas de luchtstroom opnieuw in, waardoor het zuivere gas vervuilt. Wanneer de luchtstroom in de buis de discontinue stroming is, adsoreert de buis het gas onder druk en wanneer de luchtstroom stopt met passeren, vormt het gas geadsorbeerd door de buis een drukval om op te lossen, en het opgeloste gas komt ook het zuivere gas binnen in de buis als onzuiverheden. Tegelijkertijd worden de adsorptie en resolutie herhaald, zodat het metaal op het binnenoppervlak van de buis ook een bepaalde hoeveelheid poeder produceert, en deze metalen stofdeeltjes vervuilen ook het zuivere gas in de buis. Dit kenmerk van de buis is essentieel om de zuiverheid van het getransporteerde gas te waarborgen, wat niet alleen een zeer hoge gladheid van het binnenoppervlak van de buis vereist, maar ook een hoge slijtvastheid.

Wanneer het gas met sterke corrosieve prestaties wordt gebruikt, moeten corrosiebestendige roestvrijstalen buizen worden gebruikt voor leidingen. Anders zal de pijp corrosievlekken op het binnenoppervlak produceren als gevolg van corrosie, en in ernstige gevallen zal er een groot gebied van metaalstrippen of zelfs perforatie zijn, die het zuivere te verspreiden gas zal verontreinigen.

De verbinding van hoge zuiverheids- en hoogbeschermingsgastransmissie en distributiepijpleidingen van grote stroomsnelheden.

In principe zijn ze allemaal gelast en zijn de gebruikte buizen vereist om geen verandering in de organisatie te hebben wanneer het lassen wordt toegepast. Materialen met een te hoog koolstofgehalte zijn onderworpen aan de luchtpermeabiliteit van de gelaste delen bij het lassen, waardoor de wederzijdse penetratie van gassen binnen en buiten de pijp wordt en de zuiverheid, droogheid en netheid van het overgedragen gas vernietigt, wat resulteert in het verlies van al onze inspanningen.

Samenvattend, voor hoog zuiver gas- en speciale gastransmissiepijpleiding is het noodzakelijk om een ​​speciale behandeling van roestvrijstalen buis met hoge zuiverheid te gebruiken, om een ​​puurpijpleidingssysteem (inclusief buizen, fittingen, kleppen, VMB, VMP, VMP) te maken in hoogzuivere gasverdeling met een essentiële missie.

Algemeen concept van schone technologie voor transmissie- en distributiepijpleidingen

Zeer zuivere en schone gaslichaamtransmissie met leidingen betekent dat er bepaalde vereisten of controles zijn voor drie aspecten van het gas dat moet worden getransporteerd.

Gaszuiverheid: het gehalte van onzuiverheidsatmosfeer in de GGAS -zuiverheid: het gehalte van onzuiverheidsatmosfeer in het gas, meestal uitgedrukt als een percentage van de gaszuiverheid, zoals 99.9999%, ook uitgedrukt als de volumeverhouding van onzuiverheidsatmosfeergehalte PPM, PPB, PPT.

Droogheid: de hoeveelheid sporenvocht in het gas, of de hoeveelheid natheid, meestal uitgedrukt in termen van dauwpunt, zoals atmosferische druk dauwpunt -70. C.

Reinheid: het aantal verontreinigende deeltjes in het gas, deeltjesgrootte van µM, hoeveel deeltjes/m3 om te expressie, voor gecomprimeerde lucht, meestal ook uitgedrukt in termen van hoeveel mg/m3 van onvermijdelijke vaste residuen, die het oligehalte bedekken.

Advertentie-classificatie van verontreinigende stoffen: deeltjes van verontreinigende stoffen, voornamelijk verwijst naar pijpleidingen, slijtage, corrosie gegenereerd door metalen deeltjes, atmosferische roetdeeltjes, evenals micro-organismen, fagen en vochtbevattende gascondensatiedruppelt

a) Grote deeltjes - deeltjesgrootte boven 5μm

b) Diameter van deeltjes-materiaaldiameter tussen 0,1 μm-5μm

C) Ultra-micro-deeltjes-deeltjesgrootte minder dan 0,1 μm.

Om de toepassing van deze technologie te verbeteren, om perceptueel begrip van deeltjesgrootte en μm -eenheden te kunnen perceptueel

Het volgende is een vergelijking van specifieke deeltjes