Hoogzuivere gasleidingtechnologie is een belangrijk onderdeel van een hoogzuiver gastoevoersysteem, wat de sleuteltechnologie is om het vereiste hoogzuivere gas naar het gebruikspunt te brengen en toch de gekwalificeerde kwaliteit te behouden;Gasleidingtechnologie met een hoge zuiverheid omvat het juiste ontwerp van het systeem, de selectie van fittingen en accessoires, constructie en installatie en testen.In de afgelopen jaren hebben de steeds strengere eisen aan de zuiverheid en het gehalte aan onzuiverheden van zeer zuivere gassen bij de productie van micro-elektronicaproducten die worden vertegenwoordigd door grootschalige geïntegreerde schakelingen ervoor gezorgd dat de leidingtechnologie van zeer zuivere gassen steeds meer aandacht krijgt en benadrukt wordt.Het volgende is een kort overzicht van zeer zuivere gasleidingen uit de materiaalkeuzeof bouw, maar ook acceptatie en dagelijks beheer.
Soorten gewone gassen
Classificatie van gangbare gassen in de elektronica-industrie：
Gewone gassen（Bulkgas）: waterstof (H2), stikstof (N2), zuurstof (O2), argon (A2), enzovoort.
Speciale gassenzijn SiH4 ,PH3 ,B2H6 ,A8H3 ,CL ,HCL,CF4 ,NH3,POCL3, SIH2CL2 SIHCL3,NH3, BCL3 ,SIF4 ,CLF3 ,CO,C2F6, N2O,F2,HF,HBR SF6…… enzovoort.
De soorten speciale gassen kunnen over het algemeen als corrosief worden geclassificeerdgas-, giftiggas-, brandbaargas-, brandbaargas-, inertgas-, enz. De algemeen gebruikte halfgeleidergassen worden over het algemeen als volgt geclassificeerd.
(i) Bijtend / giftiggas-: HC1, BF3, WF6, HBr , SiH2Cl2, NH3, PH3, Kl2, BCl3…enzovoort.
(ii) Ontvlambaarheidgas-: H2, CH4, SiH4, PH3, AsH3, SiH2Cl2, B2H6, CH2F2,CH3F, CO...enz.
(iii) brandbaarheidgas-: O2, Kl2, N2O, NF3… enzovoort.
(iv) Inertgas-: N2, CF4, C2F6, C4F8,SF6, CO2, Ne, Kr, He...etc.
Veel halfgeleidergassen zijn schadelijk voor het menselijk lichaam.Met name sommige van deze gassen, zoals SiH4 zelfontbranding, zolang een lek heftig reageert met de zuurstof in de lucht en begint te branden;en AsH3zeer giftig, elke kleine lekkage kan het risico van mensenlevens veroorzaken, vanwege deze duidelijke gevaren, dus de eisen voor de veiligheid van het systeemontwerp zijn bijzonder hoog.
Toepassingsgebied van gassen
Als belangrijke basisgrondstof van de moderne industrie worden gasproducten veel gebruikt en een groot aantal gewone gassen of speciale gassen worden gebruikt in de metallurgie, staal, aardolie, chemische industrie, machines, elektronica, glas, keramiek, bouwmaterialen, constructie , voedselverwerking, medicijnen en medische sectoren.De toepassing van gas heeft een belangrijke impact op de hoogtechnologische van met name deze velden en is de onmisbare grondstof gas of procesgas.Alleen met de behoeften en promotie van verschillende nieuwe industriële sectoren en moderne wetenschap en technologie, kunnen de producten van de gasindustrie met grote sprongen worden ontwikkeld in termen van variëteit, kwaliteit en kwantiteit.
Gastoepassing in de micro-elektronica- en halfgeleiderindustrie
Het gebruik van gas heeft altijd een belangrijke rol gespeeld in het halfgeleiderproces, vooral het halfgeleiderproces wordt veel gebruikt in verschillende industrieën, van de traditionele ULSI, TFT-LCD tot de huidige micro-elektromechanische (MEMS) industrie, allemaal die het zogenaamde halfgeleiderproces gebruiken als fabricageproces van producten.De zuiverheid van het gas heeft een beslissende invloed op de prestaties van componenten en productopbrengsten, en de veiligheid van de gastoevoer hangt samen met de gezondheid van het personeel en de veiligheid van fabrieksoperaties.
De betekenis van hoogzuivere leidingen in hoogzuiver gastransport
Tijdens het smelten en maken van roestvrij staal kan ongeveer 200 g gas per ton worden geabsorbeerd.Na de verwerking van roestvrij staal plakte niet alleen het oppervlak ervan met verschillende verontreinigingen, maar ook in het metalen rooster werd een bepaalde hoeveelheid gas geabsorbeerd.Wanneer er lucht door de pijpleiding stroomt, absorbeert het metaal dit deel van het gas zal opnieuw in de luchtstroom komen en het zuivere gas vervuilen.Wanneer de luchtstroom in de buis een onderbroken stroom is, adsorbeert de buis het gas onder druk, en wanneer de luchtstroom stopt met passeren, vormt het gas dat door de buis wordt geadsorbeerd een drukval om op te lossen, en het opgeloste gas komt ook het zuivere gas in de buis binnen als onzuiverheden.Tegelijkertijd worden de adsorptie en resolutie herhaald, zodat het metaal op het binnenoppervlak van de buis ook een bepaalde hoeveelheid poeder produceert, en deze metaalstofdeeltjes vervuilen ook het zuivere gas in de buis.Deze eigenschap van de buis is essentieel om de zuiverheid van het getransporteerde gas te waarborgen, wat niet alleen een zeer hoge gladheid van het binnenoppervlak van de buis vereist, maar ook een hoge slijtvastheid.
Wanneer het gas met sterke corrosieve eigenschappen wordt gebruikt, moeten corrosiebestendige roestvrijstalen buizen worden gebruikt voor leidingen.Anders zal de buis als gevolg van corrosie corrosieplekken op het binnenoppervlak produceren, en in ernstige gevallen zal er een groot deel van het metaal worden gestript of zelfs geperforeerd, waardoor het te verdelen zuivere gas wordt verontreinigd.
De aansluiting van zeer zuivere en zeer zuivere gastransmissie- en distributiepijpleidingen met grote stroomsnelheden.
In principe zijn ze allemaal gelast en de gebruikte buizen mogen bij het lassen niet van structuur veranderen.Materialen met een te hoog koolstofgehalte zijn onderhevig aan de luchtdoorlatendheid van de gelaste delen tijdens het lassen, waardoor de wederzijdse penetratie van gassen binnen en buiten de buis wordt veroorzaakt en de zuiverheid, droogheid en reinheid van het overgedragen gas wordt vernietigd, wat resulteert in het verlies van al onze inspanningen.
Samenvattend, voor zeer zuiver gas en speciale gastransmissiepijpleidingen is het noodzakelijk om een speciale behandeling van zeer zuivere roestvrijstalen buizen te gebruiken om een zeer zuiver pijpleidingsysteem (inclusief buizen, fittingen, kleppen, VMB, VMP) te maken in hoogzuivere gasdistributie neemt een vitale missie in.
Algemeen concept van schone technologie voor transmissie- en distributiepijpleidingen
Zeer zuivere en schone gaslichaamtransmissie met leidingen betekent dat er bepaalde eisen of controles zijn voor drie aspecten van het te transporteren gas.
Gaszuiverheid: het gehalte aan onzuiverheidsatmosfeer in de gGas-zuiverheid: het gehalte aan onzuiverheidsatmosfeer in het gas, meestal uitgedrukt als een percentage van de gaszuiverheid, zoals 99,9999%, ook uitgedrukt als de volumeverhouding van het gehalte aan onzuiverheidsatmosfeer ppm, ppb, ppt.
Droogte: de hoeveelheid sporenvocht in het gas, of de hoeveelheid die natheid wordt genoemd, meestal uitgedrukt in termen van dauwpunt, zoals dauwpunt bij atmosferische druk -70.C.
Zuiverheid: het aantal verontreinigende deeltjes in het gas, deeltjesgrootte van µm, hoeveel deeltjes/M3 uit te drukken, voor perslucht, meestal ook uitgedrukt in termen van hoeveel mg/m3 onvermijdelijke vaste residuen, die het oliegehalte dekken .
Classificatie van verontreinigende stoffen: verontreinigende deeltjes, verwijst voornamelijk naar het schuren van pijpleidingen, slijtage, corrosie gegenereerd door metaaldeeltjes, atmosferische roetdeeltjes, evenals micro-organismen, fagen en vochthoudende gascondensatiedruppeltjes, enz., volgens de grootte van de deeltjesgrootte is verdeeld in
a) Grote deeltjes – deeltjesgrootte groter dan 5μm
b) Deeltje – materiaaldiameter tussen 0,1 μm-5 μm
c) Ultramicrodeeltjes – deeltjesgrootte kleiner dan 0,1 μm.
Om de toepassing van deze technologie te verbeteren, om perceptueel inzicht te krijgen in de deeltjesgrootte en μm-eenheden, wordt ter referentie een reeks specifieke deeltjesstatus verstrekt
Het volgende is een vergelijking van specifieke deeltjes
| Naam /deeltjesgrootte (µm) | Naam /deeltjesgrootte (µm) | Naam/ Deeltjesgrootte (µm) |
| Virus 0.003-0.0 | Spuitbus 0.03-1 | Vernevelde microdruppel 1-12 |
| Nucleaire brandstof 0,01-0,1 | Verf 0,1-6 | Vliegas 1-200 |
| Koolstofzwart 0,01-0,3 | Melkpoeder 0,1-10 | Bestrijdingsmiddelen 5-10 |
| Hars 0.01-1 | Bacteriën 0,3-30 | Cementstof 5-100 |
| Sigarettenrook 0,01-1 | Zandstof 0,5-5 | Stuifmeel 10-15 |
| Siliconen 0,02-0,1 | Bestrijdingsmiddelen 0,5-10 | Menselijk haar 50-120 |
| Gekristalliseerd zout 0,03-0,5 | Geconcentreerd zwavelstof 1-11 | Zeezand 100-1200 |
Posttijd: 14 juni 2022