Het proces speciaal gas dat wordt gebruikt in het TFT-LCD-productieproces CVD-depositieproces: silaan (S1H4), ammoniak (NH3), fosfor (pH3), gelach (N2O), NF3, enz., en naast het procesproces Hoge zuiverheid waterstof en zeer zuivere stikstof en andere grote gassen.Argongas wordt gebruikt in het sputterproces en het sputterfilmgas is het belangrijkste materiaal van sputteren.Ten eerste kan het filmvormende gas niet chemisch reageren met het doel, en het meest geschikte gas is een inert gas.Er zal ook een grote hoeveelheid speciaal gas worden gebruikt in het etsproces, en het elektronische speciale gas is meestal brandbaar en explosief, en het zeer giftige gas, dus de vereisten voor het gaspad zijn hoog.Wofly Technology is gespecialiseerd in het ontwerpen en installeren van ultrazuivere transportsystemen.
In de LCD-industrie worden vooral speciale gassen gebruikt voor filmvorming en droogprocessen.Het liquid crystal display heeft een grote verscheidenheid aan classificaties, waarbij de TFT-LCD snel is, de beeldkwaliteit hoog is en de kosten geleidelijk worden verlaagd, en momenteel wordt de meest gebruikte LCD-technologie gebruikt.Het fabricageproces van het TFT-LCD-paneel kan worden onderverdeeld in drie hoofdfasen: de front array, het medium-oriented boxing process (CELL) en een post-stage module-assemblageproces.Het elektronische speciale gas wordt voornamelijk toegepast op de filmvormings- en droogfase van het vorige arrayproces, en een SiNX niet-metalen film en een poort, bron, afvoer en ITO worden respectievelijk gedeponeerd en een metalen film zoals een poort, source, drain en ITO.
Stikstof/Zuurstof/Argon RVS 316 Semi-automatische omschakeling gasregelpaneel
Posttijd: 13-jan-2022